真空發生器的性能與噴管的小直徑，收縮和擴散管的形狀，通徑及其相應位置和氣源壓力大小等諸多因素有關。
①大吸入流量qv2max的特性分析：較為理想的真空發生器的qv2max特性，要求在常用供給壓力范圍，qv2max處于大值，且隨著P01的變化平緩。
②吸入口處壓力Pv的特性分析：較為理想的真空發生器的Pv特性，要求在常用供給壓力范圍內(P01=0.4---0.5MPa)，Pv處于小值，且隨著Pv1的變化平緩。
③在吸入口處*封閉的條件下，對特定條件下吸入口處壓力Pv與吸入流量之間的關系。為獲得較為理想的吸入口處壓力與吸入流量的匹配關系，可設計成多級真空發生器串聯組合在一起。
④擴散管的長度應保證噴管出口的各種波系充分發展，使擴散管道出口截面上能獲得近似的均勻流動。但管道過長，管壁摩擦損失增大。一般管道長為管徑的6--10倍較為合理。為了減少能量損失，可在擴散管直管道的出口加一個擴張角為6°--8°的擴張段。
⑤吸著響應時間與吸附腔的容積有關(包括擴散腔，吸附管道及吸盤或密閉艙容積等)，吸附表面的泄漏量與所需吸入口處壓力的大小有關。對一定吸入口處壓力要求來說，若吸附腔的容積越小，響應時間越短;若吸入口處壓力越高，吸附容積越小，表面泄漏量越小，則吸著響應時間亦越短;若吸附容積大，且吸著速度要快，則真空發生器的噴嘴直徑應越大。
⑥真空發生器在滿足使用要求的前提下應減小其耗氣量(L/min)，耗氣量與壓縮空氣的供給壓力有關，壓力越大，則真空發生器的耗氣量越大。因此在確定吸入口處壓力值的大小時要注意系統的供給壓力與耗氣量的關系，一般真空發生器所產生的吸入口處壓力在20kPa到10kPa之間。此時供表壓力再增加，吸入口處壓力也不會再降低了，而耗氣量卻增加了。因此降低吸入口處壓力應從控制流速方面考慮。
⑦有時由于工件的形狀或材料的影響，很難獲得較低的吸入口處壓力，由于從吸盤邊緣或通過工件吸入空氣，而造成吸入口處壓力升高。在這種情況下，就需要正確選擇真空發生器的尺寸，使其能夠補償泄漏造成的吸入口處壓力升高。由于很難知道泄漏時的有效截面積，可以通過一個簡單的試驗來確定泄漏造成的吸入口處壓力升高。由于很難知道泄漏時的有效截面積，可以通過一個簡單的試驗來確定泄漏量。試驗回路由工件，真空發生器，吸盤和真空表組成，由真空表的顯示讀數，再查真空發生器的性能曲線，可很容易知道泄漏量的大小。
